体制
NanoTerasu総括事務局
| 局長 | 川上 伸昭 |
| 次長 | 矢板 毅 |
| 総務企画グループリーダー | 矢板 毅 |
| 安全施設グループリーダー | 小西 啓之 |
| ネットワーク・データマネジメントグループリーダー | 矢板 毅 |
| 広報グループリーダー | 加道 雅孝 |
NanoTerasuセンター
| センター長 | 高橋 正光 |
| 副センター長 | 小西 啓之 |
| 副センター長 | 服部 正 |
| 研究推進室長 | 杉本 雅樹 |
| 管理部長 | 古田 聡 |
| 高輝度放射光研究開発部長 | 加道 雅孝 |
| 高輝度放射光研究開発部次長 | 西森 信行 |
光科学イノベーションセンター
| 理事長 | 高田 昌樹 |
| 副理事長 | 小林 正明 |
| 副理事長 | 河村 純一 |
| 専務理事 | 及川 芳樹 |
高輝度光科学研究センター
| ナノテラス事業推進室 室長 | 大石 泰生 |
