東北大学高橋教授らにより、NanoTerasuを活用し軽元素を含むCMOSイメージセンサー内部を非破壊で３次元可視化

東北大学高橋教授らにより、NanoTerasuコアリションビームラインBL10Uを活用し、CMOSイメージセンサー内部三次元構造を約30 ナノメートル（nm）の分解能で非破壊観察・定量評価することに成功しました。

軽元素を含むCMOSイメージセンサー内部を非破壊で３次元可視化　ーNanoTerasuの高輝度テンダーＸ線が拓くナノ構造解析の新展開ー
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