高アスペクト比エッチングホールの非破壊三次元観察を実現 ―次世代3D NANDフラッシュメモリ開発に貢献する構造評価技術―

東北大学大学院工学研究科の大川成大学院生、国際放射光イノベーション・スマート研究センター（SRIS）の高橋幸生教授らの研究グループは、3 GeV高輝度放射光施設「NanoTerasu」のビームラインBL10Uで得られる高輝度テンダーX線を用い、X線タイコグラフィと計算機断層撮影（CT）を組み合わせることで、高アスペクト比エッチングホールの三次元構造を非破壊で可視化することに成功しました。

東北大学プレスリリース（東北大学ウェブサイトへ）：
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/2026/07/press20260709-02-EtchedHoles.html