ナノテラスで10 nmを切るX線イメージングに成功 ―X線タイコグラフィで約7 nmの分解能を実証―
2026-11-12Tweet
東北大学大学院工学研究科の佐々木雄平大学院生、東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センターの石黒志准教授、高橋幸生教授(多元物質科学研究所、金属材料研究所 兼務)らの研究チームは、3GeV高輝度放射光施設NanoTerasuのビームラインBL10Uを活用し、4.5 keVのテンダーX線を用いたX線タイコグラフィにおいて、10 nmを切る7.4 nmの投影空間分解能を達成しました。NanoTerasuでは2025年11月に蓄積電流が定格の400 mAに到達しており、本研究は400 mA運転下で実施されました。
東北大学プレスリリース(東北大学ウェブサイトへ):
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/2026/11/press20261112-02-NanoTerasu.html
東北大学プレスリリース(SRISウェブサイトへ):
https://www.sris.tohoku.ac.jp/research/detail—id-286.html